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• 나노 적층 구조물, -積層構造物, nano layered structure

  반도체 물질을 대체할 차세대 소자. 전이 금속 산화물 박막을 레이저 박막 증착 방법으로 증착시키면서 발생하는 플라스마를 활성화시켜 서로 다른 원자들을 나노미터 크기로 겹겹이 쌓아 만든 것이다. 기존 반도체가 가질 수 없는 새로운 기능을 다수 갖고 있어 차세대 반도체 소자 개발 및 응용에 활용된다.